固定污染源排放的VOCs通常伴隨著大量氣態形式的水分，不僅會造成樣品在采集和傳輸過程中的損失，還會嚴重影響測量。此時，需要處理廢氣中的水分。

揮發性有機化合物在線監測系統通常有三種方法處理被測氣體中的水分:

1.氣體脫水技術:

確保水分以氣態從被測VOCs中分離出來，這樣在去除水分的同時不會損失VOCs的成分，最大限度的保持出租車氣體的成分含量。該技術常用于廢氣濕度高的行業，如噴涂。

2.全過程高溫取樣和注射技術:

整個加熱監測過程可以明顯減少被測氣體中水的凝結，防止樣品附著在管道上。高溫(120℃~180℃)用于伴熱，從取樣探頭通過樣品傳輸管道，到儀器內部的進樣流路，以及流路的切換閥、取樣泵和檢測器，樣品被留下冷凝和損失。該技術常用于石化等行業。

3.稀釋取樣技術:

通常樣品用經過嚴格處理的干式分離器以50~200的稀釋比進行稀釋，大大降低了樣品中的含水量，減弱了水的干擾和影響。這項技術常用于高VOCs濃度的行業，如電子行業。